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產(chǎn)品型號: FilmTek 1000
所屬分類:
產(chǎn)品時(shí)間:2024-09-07
簡要描述:日本napsonμ非接觸式光學(xué)膜厚測量系統(tǒng)FilmTek 1000該公司的產(chǎn)品可以執(zhí)行非接觸,非破壞性和高精度的折射率測量,半導(dǎo)體,光電,數(shù)據(jù)存儲,平板,MEMS,光致抗蝕劑,TSV(硅直通電極)和其他成膜過程。它已交付給大型公司,并在范圍內(nèi)享有很高的聲譽(yù)。
日本napsonμ非接觸式光學(xué)膜厚測量系統(tǒng)FilmTek 1000
?SCI(科學(xué)計(jì)算)光學(xué)膜厚測量系統(tǒng)?
憑借廣泛的測量波長,專有算法和分析軟件,我們具有其他公司所沒有的各種優(yōu)勢。
通過組合靈活的系統(tǒng),我們可以準(zhǔn)確地響應(yīng)您的需求。
[關(guān)于SCI(科學(xué)計(jì)算)]
SCI(科學(xué)計(jì)算)于1993年在加利福尼亞州成立,是一家薄膜分析和設(shè)計(jì)軟件公司。
在1996 年開發(fā)的分析和設(shè)計(jì)軟件FilmWizasrd TM被*為各個領(lǐng)域的優(yōu)xiu軟件包之后,我們開發(fā)了光學(xué)膜厚測量儀FilmTeK TM系列。
該公司的產(chǎn)品可以執(zhí)行非接觸,非破壞性和高精度的折射率測量,半導(dǎo)體,光電,數(shù)據(jù)存儲,平板,MEMS,光致抗蝕劑,TSV(硅直通電極)和其他成膜過程。它已交付給大型公司,并在范圍內(nèi)享有很高的聲譽(yù)。
[產(chǎn)品陣容]
<1> FilmTek 1000系列:簡單的干涉儀系統(tǒng)
? FilmTek 1000UV(UV?面光源)
? FilmTek 1000M(小斑點(diǎn))
<2> FilmTek 2000系列:干涉儀測繪標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng),也可以進(jìn)行多層膜分析。
? FilmTek 2000M(小斑點(diǎn))
? FilmTek 2000M TSV(TSV測量)
FilmTek 2000SE(橢圓儀)
? FilmTek 2000PAR
<3> FilmTek 3000系列:使用分光鏡在DUV到NIR范圍內(nèi),測量透明和半透明基板上薄膜的反射率和透射率圖
? FilmTek 3000M
? FilmTek 3000 +近紅外
? FilmTek 3000SE
? FilmTek 3000PAR
<4> FilmTek 4000系列:通過功率譜密度(PSD)進(jìn)行多角度反射率測量和高精度測量
? FilmTek 4000VIS +紅外
? FilmTek 4000SE
<5> FilmTek SE:光譜橢圓儀
[FilmTek產(chǎn)品概述]
FilmTek系列是一種光學(xué)非接觸式膜厚測量設(shè)備,可進(jìn)行無損且高精度的折射率測量。
為了進(jìn)行分析,可以使用SCI*的高性能軟件:Film Wizard。
可以在不固定折射率和吸收(衰減)系數(shù)的情況下與膜厚度同時(shí)計(jì)算折射率和吸收系數(shù)。
在測量的同時(shí)輸出光學(xué)膜厚度,然后使用洛倫茲-洛倫茲公式由反射率和透射率確定介電常數(shù)。
確定介電常數(shù)后,將使用SCI的原始色散公式作為物理屬性值自動計(jì)算材料的波長依賴性,并自動擬合n(折射率)和k(吸收系數(shù))。 ..
另外,由于將折射率的分辨率計(jì)算為10-4以上,因此,不僅是由該固定折射率得到的來自上表面的信息,而且還包括界面層,表面的變化和內(nèi)傾斜層??梢圆蹲降接绊憽?/p>
[測量例]
<測量目標(biāo)>
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日本napsonμ非接觸式光學(xué)膜厚測量系統(tǒng)FilmTek 1000 <測量膜的 光刻膠金屬薄膜(半透明) 聚酰亞胺Al2O5 IGZO OLED等 <測量基準(zhǔn)示例> | ? |
產(chǎn)品名稱:膜厚測量系統(tǒng)(非接觸式,光學(xué)型)