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日本電測densoku熒光X射線膜測厚儀EX-731

日本電測densoku熒光X射線膜測厚儀EX-731

產(chǎn)品型號:

所屬分類:物理性能檢測儀

產(chǎn)品時(shí)間:2024-09-06

簡要描述:日本電測densoku熒光X射線膜測厚儀EX-731
極小面積的高精度測量和出色的可操作性
大尺寸基板的測量
?通過使用雙重過濾器以gao精度和jia佳條件進(jìn)行
測量
?通過將鼠標(biāo)對準(zhǔn)測量位置來快速對準(zhǔn)?多任務(wù)功能甚至在測量過程中也可以創(chuàng)建報(bào)告等其他處理
?小準(zhǔn)直儀可以測量直徑為0.05毫米的極小零件

詳細(xì)說明:

日本電測densoku熒光X射線膜測厚儀EX-731

 

熒光X射線膜測厚儀EX-731的特點(diǎn)

采用雙重過濾器

通過使用除數(shù)值濾波器以外的機(jī)械濾波器(雙重濾波器),可以在jia條件下進(jìn)行測量,從而始終獲得gao的精度。

自動測量階段

通過將鼠標(biāo)對準(zhǔn)測量位置來實(shí)現(xiàn)快速對準(zhǔn)。如果注冊測量位置,則可以進(jìn)行連續(xù)自動測量。坐標(biāo)校正和通道鏈接支持各種模式。標(biāo)準(zhǔn)板校準(zhǔn)也可以自動測量。

完整的報(bào)告創(chuàng)建功能

通過采用MS-Windows軟件,可以輕松捕獲測量屏幕,并增強(qiáng)報(bào)告創(chuàng)建功能。使用多任務(wù)功能,即使在測量期間也可以進(jìn)行包括報(bào)告創(chuàng)建在內(nèi)的其他處理。

5種準(zhǔn)直儀

小準(zhǔn)直儀為0.1φmm,可以測量極小的零件。標(biāo)準(zhǔn),0.1、0.2、0.5、1.0、2.0
另外,有兩種特殊規(guī)格可供選擇。
? 0.05,0.1,0.2,0.3,0.5
? 0.05×0.5,0.5×0.05,0.1,0.2,0.5

自診斷功能和X射線管維護(hù)功能

使用自診斷功能,可以迅速解決設(shè)備故障。此外,增加了顯示X射線管使用時(shí)間和使用壽命的功能,以支持維護(hù)安全。

膜厚測量中的頻譜顯示

通過多通道進(jìn)行光譜分析高速處理使顯示被測物的光譜變得容易。(處理速度約2-3秒)

在測量部分顯示監(jiān)控圖像

在Windows屏幕上捕獲X射線照射單元并顯示X射線照射單元。準(zhǔn)直儀提供了改變尺寸的放大倍率功能。

可視顯示測量對象的鍍層附著力分布

三維圖形顯示可輕松查看測量對象的鍍層厚度分布。

 

 

Be 窗口X射線管(選件)提高的性能(高精度)

我們已經(jīng)為熒光X射線膠片厚度計(jì)準(zhǔn)備了Be窗口X射線管。

通過使用Be窗口X射線管,Cr測量和Ni測量的重復(fù)測量精度顯著提高。

 

與標(biāo)準(zhǔn)X射線管的比較

Sn等的高能量(高原子序數(shù))測定與以前相同。

當(dāng)測量低能量(低原子序數(shù))的Cr和Ni時(shí),Cr的重復(fù)性提高了約3倍,Ni的重復(fù)性提高了約2倍。

當(dāng)測量兩層時(shí),中間層中Ni的測量精度提高了約20%。

通過使用Be窗口X射線管,Cr的熒光X射線強(qiáng)度比常規(guī)標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備的熒光X射線強(qiáng)度高大約9倍。

因此,可以在短時(shí)間內(nèi)以與以前相同的精度進(jìn)行測量。

請考慮使用此Be窗口X射線管。

 日本電測densoku熒光X射線膜測厚儀EX-731

熒光X射線膜厚計(jì)EX-731的規(guī)格

類型手動階段電動舞臺
測量頭尺寸(毫米)170 x 110300 x 280
運(yùn)動量X(毫米)7080
Y(毫米)7060
Z(毫米)80(大物體高度150)50
被測物體高度(大)80(選件150)50
尺寸(毫米)600(寬)x 465(深)x 730(高)
重量(公斤)7985
樣品負(fù)荷(kg)32
電腦尺寸(毫米)機(jī)身182(W)x 383(D)x 372(H)
/顯示器412(W)x 415(D)x 432(H)
重量(公斤)主機(jī)6.8 /顯示器2.8
打印機(jī)重量(公斤)3.4
電源供應(yīng)AC100V±10V的

(注)規(guī)格如有變更,恕不另行通知。

X射線源油浸式微聚焦X射線管
靶:鎢
管電壓50kV,
管電流可變
照射方式頂部垂直照射法
探測器比例柜臺
準(zhǔn)直儀5種(自動切換類型)
0.1、0.2、0.5、1.0、2.0φmm
(選件):0.05、0.1、0.2、0.3、0.5
,φ 
:0.05×0.5、0.5×0.05、0.1、0.2、0.5φ
樣品觀察CCD彩色相機(jī)
電腦兼容PC / AT的
17英寸彩色顯示器
打印機(jī)噴墨打印機(jī)
測量對象原子序數(shù)22(Ti)至82(Pb)
原子序數(shù)21以下可通過吸收法測定
過濾2種(Co,Ni)自動切換
可測范圍原子數(shù)22至24:0.02至約20μm
原子數(shù)25至40:0.01至約30μm
原子數(shù)41至51:0.02至約70μm
原子數(shù)52至82:0.05至約10μm
校正曲線自動校準(zhǔn)曲線創(chuàng)建功能
多點(diǎn)校準(zhǔn)曲線
校正功能基礎(chǔ)校正
應(yīng)用單層鍍層測量
兩層鍍層測量
三層鍍層測量
合金膜厚成分比同時(shí)測量
化學(xué)鍍鎳測量
測量功能自動測量
輸出格式設(shè)置
頻譜測量
兩點(diǎn)之間的距離測量
自動表功能測量位置(XYZ)
相同圖案重復(fù)功能
原點(diǎn)校正功能
測量位置確認(rèn)功能
自動校準(zhǔn)
數(shù)據(jù)處理功能統(tǒng)計(jì)顯示:平均值,標(biāo)準(zhǔn)偏差,大值,小值,范圍,Cp,Cpk
直方圖
輪廓顯示
測量數(shù)據(jù)三維顯示
x-R控制圖
安全功能X射線電源鑰匙開關(guān)
故障安全功能
其他特性平臺坐標(biāo)顯示
密碼功能
設(shè)備維護(hù)


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