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用于真空的準(zhǔn)分子紫外線系統(tǒng)介紹

發(fā)布時(shí)間：2023-04-10　點(diǎn)擊量：601

用于真空的準(zhǔn)分子紫外線系統(tǒng)介紹

基于準(zhǔn)分子光源特點(diǎn)，我們來看看準(zhǔn)分子光源是如何產(chǎn)生作用的。以準(zhǔn)分子波長172 nm為例，紫外線照射固體表面后，表面的污染物有機(jī)分子結(jié)合被強(qiáng)的光能切斷、氧化，而后分解成氧氣和氫氣等易揮發(fā)性物質(zhì)，最終揮發(fā)消失，被清洗后的表面清潔度高。
1、打破分子鍵
打破有機(jī)物質(zhì)的分子鍵的能量需要超過物質(zhì)結(jié)合能的光能，同時(shí)物質(zhì)的能量吸收（激發(fā)）越大，就越容易引發(fā)反應(yīng)（分解）并且所需的處理時(shí)間越短。因此使用低壓紫外線燈無法打破的結(jié)合能可以使用準(zhǔn)分子燈產(chǎn)生的 172nm 波長進(jìn)行分解。

2、大量產(chǎn)生激發(fā)態(tài)氧原子

準(zhǔn)分子紫外線燈與傳統(tǒng)汞紫外線燈比較，光強(qiáng)超大，靶向精準(zhǔn)，無汞制造，綠色環(huán)保，可回收，無二次污染。與低壓紫外燈的185nm波長相比，準(zhǔn)分子燈172nm波長的分子氧吸收系數(shù)大20倍左右。這不僅可以產(chǎn)生高密度的活性氧，而且通過直接作用于氧氣，可以產(chǎn)生具有強(qiáng)大氧化能力的強(qiáng)激發(fā)氧。

Eximer真空光源和準(zhǔn)分子真空靜電消除器

易于安裝到帶 ICF114 法蘭的真空室視口。
通過使用風(fēng)冷準(zhǔn)分子燈的簡單系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了低成本和高性能。 可以瞬時(shí)打開和關(guān)閉。

準(zhǔn)分子真空光源法蘭連接

特征

  • 真空室等靜電問題的對(duì)策

  • 卷對(duì)卷薄膜抗靜電

  • 晶圓等靜電卡盤的吸附和運(yùn)輸措施

  • 防止因電氣化而吸附異物的對(duì)策

  • 電子顯微鏡的靜電對(duì)策

  • 通過帶電實(shí)現(xiàn)均勻的薄膜厚度，防止針孔

規(guī)范


波長172 納米
真空法蘭端口ICF114 （兼容JIS法蘭）
冷卻方式風(fēng)冷
功能燈亮起、熄滅
光源尺寸寬 300 x 高 157 x 深 180 mm
電源尺寸寬 250 x 高 133 x 深 200 mm
權(quán)力AC100V 50/60Hz 2A 帶接地端子
氣N2
電纜長度（燈~電源）0，5 米
環(huán)境規(guī)格溫度15-30°C，濕度20-80%，無冷凝、腐蝕、振動(dòng)的環(huán)境條件。